机台应用:
➢运用G6大小Film软性材质，采用高解析架构，产品具有不同厚度及颜色属性。设备规划分区载台吸附，并搭载光学自动对焦系统，有效防止影像失真变形。检测瑕疵包括异物、孔洞、脏污等，并可对缺陷特征（圆形、环形、线形）进行有效判定。
机台效益:
➢高精度1.4um解析度检查设备。
➢双镜组采用飞拍模式，加速Tact Time时效。
➢经过REVIEW系统后，可有效分析缺陷种类并追溯前制程影响。
适用产业:
➢光电面板
