機台應用:
➢支援POD或FOUP載具使用，能縮短生產設備等待OHT的閒置時間(IDLE TIME)，降低人力搬運成本，優化機台生產效能，有效利用FAB畸零空間儲存物料的解決方案。
機台效益:
➢節省人員搬運成本。
➢縮短等待OHT上貨時間，即時供應生產機台物料。
➢連接MCS物料搬運系統、MES製造執行系統，提高自動化生產競爭力。
適用產業:
➢SEMI
