機台應用:
➢運用多種檢測光源,搭配智慧化檢測系統,讓檢測效果最佳化
➢高效多工移載可快速上料檢測,結合MCS系統達到高檢出經濟效益
➢完整的檢測履歷,專為生產品質把關的最佳選擇
機台效益:
➢雙取檢測模組配置,提升檢測產能(8”WPH:400)
➢獨家專利檢驗技術,能有效凸顯缺陷特性,捕捉製程缺陷,X`最小檢出Size:50x50um
➢自動建立檢測參數,節省人員調參時間
➢一鍵復機功能,簡化Trouble shooting步驟
適用產業:
➢Wafer