機台應用:

➢晶圓巨觀自動光學檢查機 運用多種檢測光源，搭配智慧化檢測系統，讓檢測效果最佳化；高效多工移載可快速上料檢測，結合MCS系統達到高檢出經濟效益；完整的檢測履歷，專為生產品質把關的最佳選擇。

機台效益:

➢雙取檢測模組配置，提升檢測產能(8”WPH:400)

➢獨家專利檢驗技術，能有效凸顯缺陷特性，捕捉製程缺陷，X`最小檢出Size:50x50um, 30Gray

➢自動建立檢測參數，節省人員調參時間

➢一鍵復機功能，簡化Trouble shooting步驟

適用產業:

➢Wafer