機台應用:

➢內崁式晶圓自動光學檢查機(In-situ AOI)，配合各式機台及客戶需求，以MARCO巨觀檢測為目標，整合客製化光學系統與影像辨識檢測技術，以不占空間、不影響機台生產、即時性檢測，達成工廠生產最大效益。

機台效益:

➢100%生產產品取像檢測，提高生產良率

➢客製化崁入式設計，不占FAB空間

➢完全配合生產流程，15秒內完成取像檢測並通知，降低產品損失

➢可快速且完整追朔生產履歷，立即進行改善

➢優化線上檢測人員配置，降低人事成本與管理成本

適用產業:

➢Wafer