機台應用:
➢運用G6大小Film軟性材質,採用高解析架構,產品亦有不同厚度及顏色屬性,固設備規劃分區載台吸附並搭載光學自動對焦系統來有效防止影像失真變形。檢測瑕疵為異物、孔洞、髒污等亦可再把缺陷特徵(圓形、環形、線形 做有效判定)
機台效益:
➢高精度1.4um解析度檢查設備。
➢雙鏡組採用飛拍模式加速Tact Time時效。
➢經過REVIEW系統後可有效分析缺陷種類追朔前製程影響。
適用產業:
➢光電面板